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素形材-质量流量控制器

质量流量控制器
SAM™・Aera™

关于成立咨询中心及开设维修服务的通知

针对日立金属所销售的质量流量控制器(SAM牌,AERA牌)产品,
我们成立了咨询中心,同时,开始受理维修服务。
需要产品咨询或维修服务,请与我们咨询中心联系。
(有部分产品的维修可能无法对应,具体情况请与咨询中心确认)
亦可点击「产品垂询」进行咨询。

垂询电话:0755-86006828 ext: 885
垂询邮箱:service@hmsz.hitachi-metals.com
电话受理时间(周一~周五 9:00~17:00)
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(日立金属精密仪器(深圳)北京赛车pk10投注 内)

概要

质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜,对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构,结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后,我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求,推出高性能数字质量流量控制器,为半导体的制造技术的发展做贡献。


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※ 更多产品信息,欢迎向我司垂询了解。